I forni ad atmosfera inerte, chiamati anche forni anaerobici, sono progettati per il trattamento termico utilizzando gas non ossidanti come l'azoto in un ambiente sigillato, sono adatti per il trattamento termico in atmosfera a bassa concentrazione di ossigeno.
Descrizione
La serie Inert Atmosphere Oven viene utilizzata nella produzione di semiconduttori per la cottura pretrattante di wafer di silicio, arseniuro di gallio, niobato di litio, vetro prima del rivestimento PR, cottura di film duro dopo il rivestimento PR e cottura ad alta temperatura dopo lo sviluppo; È adatto anche per reparti di produzione e ricerca scientifica, come display elettronici a cristalli liquidi, LCD, CMOS, IS e laboratori; può essere utilizzato anche per l'essiccazione, il trattamento termico, l'invecchiamento e altri test ad alta temperatura di articoli non volatili, non infiammabili e non esplosivi.
Parametri principali
►Parametri tecnici
Capacità: personalizzata in base ai prodotti
Intervallo di temperatura: ambiente+50°C ~ 250°C
Contenuto di ossigeno: ≤50 ppm
Uniformità della temperatura: ±2,5%
Velocità di accelerazione: controllabile
Ingresso azoto: Φ8
Flusso di azoto: 0-240 L/min * 2 canali
►Struttura
. Forno interno: realizzato in acciaio inossidabile e saldato senza saldatura con gas argon.
. Sigillato ermeticamente: la camera è sigillata per ridurre i livelli di ossigeno.
. Struttura della presa d'aria: consente ai gas non ossidanti di riempire la camera.
. Analizzatore O2: regola con precisione i livelli di ossigeno tra 0,5 ~ 21%
► Sistema di controllo della temperatura
Regolatore di temperatura intelligente JAPAN RKC, programmi e impostazione di valori fissi, sintonizzazione automatica AT, correzione dell'offset e mantenimento dello spegnimento.
► Convezione forzata dell'aria
Il condotto dell'aria brevettato nel sistema di circolazione dell'aria calda può regolare automaticamente l'uniformità della temperatura.
Caratteristiche per forni anaerobici (Inerti).
► Studio in acciaio inossidabile sigillato ermeticamente per impedire l'ingresso di atmosfera esterna
► Utilizzare azoto come gas inerte per il trattamento termico anaerobico
► Sono forniti flussometro e manometro
► Dispositivi di sicurezza multiprotezione
Opzioni
► Controllore programmabile PLC+7”.
► Allarme lampeggiante tricolore
► Limitatore di sovratemperatura
► Dispositivi di sicurezza manuali
Perché scegliere i forni ad atmosfera inerte?
Al giorno d'oggi, i materiali di cablaggio nei circuiti sono passati dall'alluminio al rame con una resistività inferiore. Pertanto, se trattate termicamente in un normale forno di essiccazione, le parti in rame possono ossidarsi causando difetti. Inoltre, viene eseguito anche l'invecchiamento a 250 gradi C per verificare se i dati scritti sulla memoria flash sono stati cancellati a causa dell'elettromigrazione e se le parti del bump sono ossidate, quindi il contenuto di ossigeno deve essere ridotto a <100 ppm. Questo forno anaerobico è stato sviluppato per soddisfare queste esigenze.
Applicazione
I forni ad atmosfera inerte sono utilizzati principalmente per l'indurimento di colle BPO/PI/BCB, IC (wafer, CMOS, Bumping, TSV, MENS), FPD, componenti elettronici ad alta precisione e altri materiali in un ambiente a basso contenuto di ossigeno per test di essiccazione e invecchiamento .
